功率器件工艺技术的高度迭代发展，带来了更多形态的晶圆圆片类型，包括Taiko片，厚度低至50um的超薄片，以及由于减薄带来的各类晶圆翘曲片等，对探针平台的机械手搬运传输运送系统提出了巨大的技术挑战。在全新一代的探针台设计中，自主创新引入多种模块化的搬运传输技术平台模块，可以灵活多样的快速满足客户工艺的更高要求，保障良率和系统可靠性。